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產品名稱：試劑級氫氟酸
英文名稱：Hydrofluoric acid
CAS號：7664-39-3
分子式：HF
分子量：20.01
性質：無色透明發煙液體，具有強烈刺激性氣味。
用途：用于半導體元件制造、玻璃刻蝕等。
包裝：槽車或塑料桶包裝。
執行標準：國家標準 GB/T 620-2011
|
名稱 |
優級純 |
分析純 |
化學純 |
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含量(HF),ω/% |
≥40.0 |
≥40.0 |
≥40.0 |
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灼燒殘渣（以硫酸鹽計）,ω/% |
≤0.001 |
≤0.002 |
≤0.01 |
|
氯化物(Cl),ω/% |
≤0.0005 |
≤0.001 |
≤0.005 |
|
硫酸鹽和亞硫酸鹽(以SO4計),ω/% |
≤0.001 |
≤0.002 |
≤0.005 |
|
磷酸鹽(PO4),ω/% |
≤0.0001 |
≤0.0002 |
≤0.0005 |
|
氟硅酸鹽(SiF6),ω/% |
≤0.02 |
≤0.04 |
≤0.06 |
|
鐵(Fe),ω/% |
≤0.00005 |
≤0.0001 |
≤0.0005 |
|
重金屬(以Pb計),ω/% |
≤0.0001 |
≤0.0005 |
≤0.001 |
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